屏下微結構檢測難?別讓 6–12 μm 的高度差拖垮大屏良率!

在大尺寸顯示屏精密制造領域,屏下微圖案高度僅6–12 μm,隱藏于多層高透介質之下。精準測量這類微小段差,已成為制約出貨質量與良率提升的關鍵瓶頸。
LMI Technologies的Gocator 5500系列雙軸線共焦3D智能傳感器憑借突破性的雙軸光學設計與超高掃描速率,為多層高透介質下的微結構測量提供了計量級的高速在線解決方案。
你是否面臨以下檢測挑戰?
01、多層高透介質,傳統光學分層難
顯示屏包含三層透光率大于90%的透明介質,且各層折射率差極小。傳統光學傳感器易產生強烈的雜散光噪點,無法有效穿透并精準捕獲第三層表面的真實信號。
02、微結構尺寸極小,對比度低
目標微圖案寬度僅100 μm左右、高度差6–12 μm。在超薄高透基底上,難以對微觀形貌進行清晰重構與準確量測。
多層高透介質下的“眼睛”:Gocator 5504
LMI Gocator 5504 雙軸線共焦3D智能傳感器將突破性的雙軸光學設計與高達40 kHz的掃描速率相結合,一站式解決檢測、精度與效率難題。
采用雙軸光學設計,大幅提升信號質量與抗噪能力。即便三層介質折射率極其接近,也能準確鎖定第三層微圖案(100 μm 寬、6–12 μm 高)的物理反射點,剔除雜散光噪點,實現亞微米級3D精密檢測。

G5504 點云圖
Gocator 5504的Z軸重復性達0.07 μm,10 次靜態重復性測試下,Z 軸高度標準差穩定在0.1 μm以內,賦予大屏檢測計量級的數據穩定性。在提供計量級穩定數據的同時,超高頻率和內置GoPxL點云拼接功能,完美匹配65 cm × 30 cm大掃描視野,全面滿足大尺寸顯示屏在線檢測的嚴苛節拍要求。


關鍵圖案位置高度差
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Gocator 5500 系列打破了“大視野”與“亞微米級高精度”不可兼得的技術瓶頸,以高穩定的三維檢測能力,為智能顯示產業鏈注入了強勁的質控動能。
LMI 將持續專注于前沿 3D 視覺技術的創新與落地,賦能高端顯示及微電子領域的精密制造與良率躍升。
相約Vision China (深圳)2026
展會時間:2026年10月27日 - 29日
地點:深圳國際會展中心(寶安新館)
LMI 展位號:9F16
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400熱線:400 633 3036
郵箱:mkt_china@lmi3d.com
網站:www.lmi3d.com

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