2026年8月31日至9月2日，國內半導體設備電源領域領軍企業——深圳市中電華星電子技術有限公司（以下簡稱"中電華星"）將攜覆蓋半導體前道晶圓制造、后道封裝與測試共14大類設備電源解決方案，亮相第十五屆中國（無錫）國際半導體設備、材料及核心部件博覽會，展位號為C1-25。作為國家級專精特新"小巨人"企業，中電華星以"全工藝段、全功率段、全應用場景"的產品布局，打造目前國內最完整的半導體設備電源整體方案供應體系，全面賦能國產半導體裝備的自主可控與升級迭代。

扎根高端電源近三十載  國家級"小巨人"實力護航國產半導體

深圳市中電華星電子技術有限公司創立于2001年3月，總部位于深圳市龍華區。在"專業化、精細化、特色化、新穎化"的四維戰略引領下，中電華星聚焦工業高可靠電源領域，已形成模塊電源、定制電源、大功率電源及電源系統四大產品族群，累計獲得70余項核心技術專利與軟件著作權，在深圳、上海、北京、成都、大連、杭州、武漢等地設立服務網點，業務覆蓋軌道交通、半導體設備、儲能光伏、無人機、機器人、醫療設備及數據通信等高精尖領域，服務客戶超過3000家。

公司是國家工業和信息化部正式認定為國家級專精特新"小巨人"企業，國家高新技術企業認定，公司還先后獲評深圳市"專精特新"中小企業、廣東省軌道交通電源工程技術研究中心、，并于2026年通過IRIS國際鐵路行業標準銅級認證，構建起涵蓋ISO9001質量管理體系、IRIS22163鐵路行業國際認證的雙重標準體系，為半導體高端制造的高可靠電源需求提供堅實體系保障。

14大類設備電源全覆蓋  重新定義"半導體設備電源整體方案供應商"

本屆展會，中電華星以"一站式覆蓋半導體全工藝段"為主題，一次性展出覆蓋前道晶圓制造、后道封裝與測試共14大類半導體設備電源解決方案，是目前國內極少數能夠為半導體設備廠提供"一站式"電源配套服務的廠商，產品矩陣廣度居行業之首。

在前道晶圓制造領域，中電華星可提供：光刻設備電源（配套光刻機、涂膠顯影設備，覆蓋光源、工作臺驅動、光學溫控、控制及真空子系統全鏈路電源需求）；刻蝕設備電源（面向ICP/CCP等離子體刻蝕機，提供射頻電源、偏壓電源、ESC靜電卡盤電源、MFC氣體流量控制器、真空系統、等關鍵負載的完整供電方案）；薄膜沉積設備電源；離子注入設備電源；清洗設備電源；熱處理設備電源；CMP拋光設備電源；量測檢測設備電源。

在后道封裝與測試領域，中電華星同樣構建了完整矩陣：劃片/減薄設備電源；鍵合設備電源；塑封/電鍍設備電源；測試機ATE設備電源；分選機Handler設備電源（配套測試后自動分檔）；探針臺Prober設備電源。

從光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、清洗、熱處理、CMP拋光、量測檢測，到后道封裝、測試——半導體設備全工藝段的電源需求，中電華星均可一站式滿足，真正以"產品最全的半導體設備電源整體方案供應商"姿態領跑行業。

聚焦刻蝕、光刻兩大核心工藝  關鍵負載供電規格全公開

展會期間，中電華星重點展出了刻蝕機和光刻機兩大關鍵工藝設備的負載供電規格，充分體現公司在高端電源領域的技術深度與工程能力。

刻蝕機關鍵負載供電規格：射頻電源（RF Generator）支持380V AC轉13.56MHz RF，單臺功率覆蓋3-10kW，紋波小于0.1%，滿足等離子體源對紋波嚴苛要求；偏壓電源（Bias RF）功率0.2-2kW，用于控制離子轟擊能量；靜電卡盤（ESC）電源提供高壓DC+1500V，約150W，實現晶圓靜電吸附的高/低壓低功耗控制；氣體質量流量控制器（MFC）采用24V DC，單路約10W，實現工藝氣體精確配比。

光刻機關鍵負載供電規格：光源電源面向ArF準分子激光器，380VAC轉高壓DC脈沖放電驅動，約40kW（ArF機型），脈沖穩定度<0.1%；光學溫控面向投影透鏡組Peltier精密控溫，220VAC轉24V DC的TEC驅動電源，約15kW持續運行，溫度穩定度+0.01℃；控制系統面向工控機/傳感器對準與調平調焦，220V AC轉24/5V DC多路DC輸出，約8kW。

上述規格參數顯示，中電華星已經深度參與到半導體設備核心子系統的電源設計之中，其產品在功率密度、紋波、穩定度、可靠性等關鍵指標上已達到國際同類產品水平，可為國產光刻機、刻蝕機的迭代升級提供堅實電力保障。

三大核心優勢  樹立半導體設備電源新標桿

極致可靠：公司電源產品平均無故障工作時間（MTBF）普遍超過5萬小時，關鍵產品達12萬小時；部分控制板卡專用電源通過通過TUV、UL、CE、TLC國際安規認證；電磁兼容性能滿足IEC 61000-4系列嚴苛抗擾度要求，全面滿足半導體設備7×24小時連續生產對電源可靠性的極致要求。

高功率密度與高效率：CA2209K-60整流模塊功率密度高達54W/in3，整機效率達97%以上；CAM2500系列AC-DC智能監控電源效率超過90%；LF4000-H60-800V無人機機載DC-DC電源峰值效率達97%，重量≤1kg，MTBF超10萬小時；CES系列4300W工業電源效率達96%，配備智能溫控與狀態監測功能。

智能互聯與定制化：全系列產品支持I2C/PMBUS/RS485/CAN等通信接口，配備輸入過壓、欠壓、過流、短路、過溫等多重硬件保護，具備遠程監控、參數調節及系統聯動管理能力。公司提供OEM/ODM定制服務，可根據客戶需求定制充電曲線、通信協議、外形尺寸、標簽及認證；配備7×24小時全時響應、12城服務站、AR遠程指導等智能服務體系，實現"10分鐘響應-4小時方案-48小時現場閉環"的極速服務標準。

與中國半導體產業同頻共振

中電華星市場部相關人員表示，半導體設備國產化已進入"深水區"，設備電源作為裝備"心臟"，其性能與可靠性直接決定整機的工藝水平和產線良率。本屆展會，中電華星以"產品最全的半導體設備電源整體方案供應商"姿態亮相，既是近三十年高端電源技術積淀的集中呈現，也是公司助力國產半導體裝備產業鏈自主可控的鄭重承諾。

未來，中電華星將繼續秉承"以技術見長、以品質立信"的經營理念，圍繞半導體設備、軌道交通、儲能光伏等高精尖領域持續創新，與產業鏈上下游合作伙伴攜手，共同推動中國半導體產業邁向新高度。

深圳市中電華星電子技術有限公司亮相第十五屆中國（無錫）國際半導體設備、國際半導體設備、材料及核心部件博覽會C1-25展位，現場體驗中誠邀業界同仁蒞臨2026年8月31日至9月2日舉辦的第十五屆中國（無錫電華星全系產品矩陣，共同探討半導體設備電源的國產化未來。

關于中電華星

深圳市中電華星電子技術有限公司成立于2001年，是國家級專精特新"小巨人"企業、國家高新技術企業、廣東省軌道交通電源工程技術研究中心。公司專注工業高可靠電源研發近三十年，聚焦半導體設備、軌道交通、儲能光伏、機器人、無人機、醫療設備等高精尖領域，致力于為客戶提供從模塊電源、定制電源到大功率電源系統的整體解決方案。更多信息請訪問公司官網或關注官方微信公眾號"中電華星"。