應用介紹

【行業】半導體

【設備】刻蝕機/清洗機

應用場景

單片清洗機中晶圓的平整檢測。

解決課題

1、清洗液具有腐蝕性，傳感器需要具備耐腐蝕和防水的功能。

2、在部分易燃易爆氣體等環境中，傳感器需要適應防爆需求。

3、在特定清洗工藝中，因清洗劑成分具有光敏感性，無法直接使用光電傳感器。

價值提案

核心產品：

光纖傳感器 E3NX-FA

光纖單元 E32-T12F

■光纖頭E32-T12F配有氟樹脂全涂層，實現耐腐蝕、防水的雙重工業級防護。

■光纖頭只是傳導光的介質，不含電氣回路，可以安全地應用于防爆環境要求。

■E3NX-FA可以在特定時間段內將LED光關閉，避免對清洗工藝產生影響。

■備有S-TUNE智能調諧設定，兩鍵自動設定光量和閾值，減小對射光纖安裝的同心度誤差。

相關產品

光纖單元E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

智能光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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